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一、Laurell勻膠旋涂機 650系列 產品特點：
（1）過程控制器：650 系列過程控制器利用強大的微處理器，并使用其隨附的PC軟件，使得在設置和使用時可以非常靈活的進行調整。該控制器允許操作員在流程執行期間實時交互，包括暫停時間、 停止并從這一點繼續。
（2）系統外觀材質：該系統的外殼通常采用的是NPP材質，這種材料能夠抵抗溶劑和強酸、強堿?！具x配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外殼可用（常用于高溫化學和亞微米顆粒研究）。
（3）Laurell自有的迷宮式密封可保護電機和控制電子設備免受化學污染。該密封件為工藝腔室提供氮氣吹掃，并且在現場測試期間已被證明在亞微米水平上是無顆粒的。
（4）安全設計：與操作員電氣隔離、門聯鎖以及組件的 UL 和 CSA 認證確保了多年的安全。當真空開關未接合且蓋子打開時，聯鎖可防止旋轉，所有Laurell系統均符合CE和RoHS標準。
（5）過程保障：所有 Laurell 過程控制器的“過程保護"功能可確保同一過程不會無意中在同一基材上運行?？梢暂p松繞過此功能以再次運行相同的進程，而無需打開系統，或者可以在over（循環）上運行序列。
二、Laurell勻膠旋涂機 650系列 廠務條件：
（1）氣源： 需要 60~70 PSIG （4–5 bar） 的氮氣/CDA 對迷宮式電機密封件加壓。（這種氣體還會吹掃工藝腔室。氣體消耗量非常低，每小時 3 立方英尺。）
（2）真空：建議在 25 英寸汞柱下使用 28–635 英寸（~711–4 毫米）汞柱的真空，流量為 5.0 SCFM（127.0 立方米/分鐘）。
（3）電源：95~240VAC， 47/63HZ， 約300 W；
三、產品應用：
Laurell WS-650 系列通常用于溶劑、堿或 酸基加工：涂層、蝕刻、顯影、漂洗干燥和 清洗。雖然支持所有這些過程，但由于已知材料，Laurell 建議僅一次性使用 沖突。例如，光刻膠和顯影劑（交叉污染）， 和SC-1和SC-2（HCl + NH4OH）， 產生 NH4Cl， 危險的吸入風險。
*Laurell涂膠顯影系列產品型號簡介：
型號 | 控制器 | 大基板尺寸 | 大轉速 |
650系列 勻膠旋涂儀 | |||
WS-650-23B | 650 系列 | ?150毫米（5英寸×5英寸） | 12000rpm |
WS-650-8B | 650 系列 | ?200毫米（7英寸×7英寸） | 12000rpm |
WS-650-15B | 650 系列 | ?300毫米（9英寸×9英寸） | 12000rpm |
EDC™系列 勻膠顯影機 | |||
EDC-650-23B | 650 系列 | ?150毫米（5英寸×5英寸） | 12000rpm |
EDC-650-8B | 650 系列 | ?200毫米（7英寸×7英寸） | 12000rpm |
EDC-650-15B | 650 系列 | ?300毫米（9英寸×9英寸） | 12000rpm |
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