URE-2000/17紫外掩膜式光刻機

URE-2000/17紫外掩膜式光刻機：

采用雙目雙視場顯微鏡對準、球碗調平、單片機控制、觸摸開關、操作方便、實用性強。

產品特征：

（1）采用創新的多點梯形反射鏡聚光構造，具有高的能量收集率和高均勻照明性;

（2）采用進口直流高壓汞燈,光功率穩定性好;

（3）采用i線(365 nm)紫外曝光光源,波長單一，光譜純凈;

（4）配置高倍率雙目雙視場CCD顯微鏡和22寸寬屏液晶顯示器，可通過顯微鏡目視和顯示器同時觀察對準過程,適用大視場高倍率對準;

（5）采用薄膜開關操作，數字設定曝光時間，倒計時數顯，曝光量可精確控制;

（6）配置無油真空干泵,無污染，噪音小;

（7）具有碎片處理功能;

（8）關鍵器件采用進口國際品牌產品，整機可靠性高;

URE-2000/17紫外掩膜式光刻機 技術指標：

（1）曝光面積：100mm×100mm方形區域或者φ110mm圓形區域；

（2）光刻分辨力：1.5μm≤

（3）對準精度：±1μm    

（4）曝光波長：365nm    

（5）掩模尺寸: 2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch    

（6）樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；    

（7）照明均勻性：±6%≤（Ф100mm 范圍）；

（8）汞燈功率：200W（直流、進口汞燈）；

（9）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

（10）曝光量設定：定時（倒計時方式0.1～999.9秒任意設定、設定精度0.1秒）；

（11）顯微鏡配置：雙目雙視場、物鏡三對:4X、10x、20X（可置換)，目鏡三對:10x、16X、20X(可置換)