選擇勻膠機的依據有什么？
發布時間：2022-12-20 點擊次數：193次
勻膠機用于晶片基底材料的表面光刻膠涂覆。勻膠機由樣品臺、滴膠裝置和空心電動機組成，其工作原理是，通過在樣品臺上產生負壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺上，光刻膠液滴注在基底材料的表面，通過準確控制電動機的旋轉速度，以此來改變離心力的大小，同時通過控制膠液的流量來達到制備薄膜所需的厚度。
勻膠機的選擇方法？
1、材質的選擇
勻膠機對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，國產的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
2、旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。
3、真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生飛片的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成堵塞。
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